シリコンウェハ用めっき実験装置セ...

YAMAMOTO-MS 2～12inchシリコンウェハ用のめっき装置です。専用の治具を使用することで、半導体・MEMSの精密なめっきが行なえます。常時ろ過を行いながら水槽底部からゆるやかな対流を起こし、オーバーフローする構造で、直接の撹拌にはパドル撹拌を利用します。 シリコンウェハだけでなくSiC、ガラス、GaAs、InP等の素材の基板へもお使いいただけます。 生産設備としてもご利用いただけます。（国内外で特許数件取得済み、他数件出願中） 標準サイズは2～12inchになりますが、標準装置をベースに...